零熱膨張ガラスを用いた MEMS 半球振動子の作製
零熱膨張ガラスを用いた MEMS 半球振動子の作製
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使用零热膨胀玻璃制造 MEMS 半球形谐振器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
内海太一;小代洸太;塚本貴城;田中秀治
