超高安定光源のためのHexapod型能動防振装置の開発II

超高安定光源のためのHexapod型能動防振装置の開発II
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超高稳定性光源六足主动隔振装置研制II

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
坪野公夫
坪野公夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
正田亜八香;麻生洋一;大塚茂巳;大前宣昭;牛場崇文;平松成範;坪野公夫

文献摘要

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