T.Meguro, S.Sakamoto H.Takai, Y.Aoyagi: "Multiply-charged ion beam induced dry etching of semionductor materials"Materials Science and Engineering B. (印刷中). (2000)
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T.Meguro、S.Sakamoto H.Takai、Y.Aoyagi：“半导体材料的多电荷离子束诱导干法蚀刻”材料科学与工程 B.（出版中）。
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