福澤 剛: "Growth processes of small particulates in silane plasmas" Proceedings of the 12th Symposium on Plasma Processing. 12. 385-388 (1995)
福澤 剛: "Growth processes of small particulates in silane plasmas" Proceedings of the 12th Symposium on Plasma Processing. 12. 385-388 (1995)
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Tsuyoshi Fukuzawa:“硅烷等离子体中小颗粒的生长过程”第 12 届等离子体处理研讨会论文集。12. 385-388 (1995)。
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