ZrB_2薄膜のキャラクタリゼーションとCu/SiO_2間のバリヤ特性
ZrB_2薄膜のキャラクタリゼーションとCu/SiO_2間のバリヤ特性
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ZrB_2薄膜的表征及Cu/SiO_2间的势垒性能
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野矢厚
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武山真弓;中台保夫;神原正三;畠中正信;野矢厚
