Detection Properties of VOx Mivrobolometer on Si3N4/SiO2 Membrane Fabricated by MOD at 200 GHz
Detection Properties of VOx Mivrobolometer on Si3N4/SiO2 Membrane Fabricated by MOD at 200 GHz
复制标题
200 GHz MOD 制作的 Si3N4/SiO2 膜上 VOx 微测辐射热计的检测特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Tachiki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Uchida;A. Matsushita;T. Tachiki
