NEGコーティングに吸着するガスの再活性化過程と排気性能への影響
NEGコーティングに吸着するガスの再活性化過程と排気性能への影響
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NEG涂层吸附气体的再活化过程及其对排气性能的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本田 融
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金 秀光;谷本育律;内山隆司;本田 融
