PROPOSAL OF STRESS-TOLERANT MICRO-HOTPLATES WITH SU-8 SUSPENSION FOR SMART GAS SENSING SYSTEM
PROPOSAL OF STRESS-TOLERANT MICRO-HOTPLATES WITH SU-8 SUSPENSION FOR SMART GAS SENSING SYSTEM
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用于智能气体传感系统的带有 SU-8 悬架的耐应力微热板的提案
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuaki Sawada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tatsuya Iwata;Carine Wei Soo Ping;Kyosuke Matsuda;Kazuhiro Takahashi;Makoto Ishida;Kazuaki Sawada
