A.Gotoh, et al.: "ClF3 pre-cleaning in Al-CVD (V)" Extended Abstracts (The 57th Autumn Meeting, 1996) ; The Japan Society of Applied Physics. 8a-N-5.
A.Gotoh, et al.: "ClF3 pre-cleaning in Al-CVD (V)" Extended Abstracts (The 57th Autumn Meeting, 1996) ; The Japan Society of Applied Physics. 8a-N-5.
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A.Gotoh 等人：“Al-CVD 中的 ClF3 预清洗 (V)”扩展摘要（第 57 届秋季会议，1996 年）；
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