Mechanical properties of single crystal silicon measured by microcantilever method
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微悬臂梁法测量单晶硅的力学性能
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
矢矧束穂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山口拓志;多々見純一;飯島志行;矢矧束穂
