Effects of ultrasonic vibration on slurryless electrochemical mechanical polishing of 4H-SiC (0001) surface
Effects of ultrasonic vibration on slurryless electrochemical mechanical polishing of 4H-SiC (0001) surface
复制标题
超声波振动对4H-SiC(0001)表面无浆电化学机械抛光的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kazuya Yamamura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xiaozhe Yang;Xu Yang;Kentaro Kawai;Kenta Arima;Kazuya Yamamura
