Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications

Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications
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适用于倾斜镜应用的集成锥形弹簧线性执行器

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)
影响因子：
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通讯作者：
A.Shimokohbe
A.Shimokohbe
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Fukushige;S.Hata;A.Shimokohbe

文献摘要

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