Ga-Al液相法を用いた窒化サファイア基板上AlN膜成長
Ga-Al液相法を用いた窒化サファイア基板上AlN膜成長
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Ga-Al液相法在氮化蓝宝石衬底上生长AlN薄膜
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
安達正芳,福山博之,杉山正史,飯田潤二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Masayoshi Adachi;Mari Takasugi;Daisuke Morikawa;Kenji Tsuda;Akikazu Tanaka;Hiroyuki Fukuyama;安達正芳,福山博之,杉山正史,飯田潤二