斜め蒸着膜を用いた光導波路センサーの開発

斜め蒸着膜を用いた光導波路センサーの開発
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利用倾斜沉积薄膜的光波导传感器的开发

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期刊:
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通讯作者:
鈴木基史
鈴木基史
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
栗山頌平;高垣宗寛;中嶋薫;木村健二;鈴木基史

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