Mechanisms of Thermal Atomic Layer Etching (ALE) for Metals
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金属热原子层蚀刻 (ALE) 机制
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Hamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Abdulrahman H. Basher;M. Krstic;T. Takeuchi;T. Ito;K. Fink;M. Kiuchi;K. Karahashi;W. Wenzel;and S. Hamaguchi
