Fabrication of Ordered Microstructure on III-V Semiconductor by Metal-Assisted Chemical Etching
Fabrication of Ordered Microstructure on III-V Semiconductor by Metal-Assisted Chemical Etching
复制标题
金属辅助化学刻蚀在 III-V 族半导体上制备有序微结构
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Asoh and S. Ono
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. Suzuki;H. Asoh and S. Ono