Deposition Process Monitoring for Optimum Carbon Nanotube Thinfilm Condition Control
Deposition Process Monitoring for Optimum Carbon Nanotube Thinfilm Condition Control
复制标题
沉积过程监控以实现最佳碳纳米管薄膜状态控制
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柏木 謙
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hideyuki F. Arata;Frederic Gillot;and Hiroyuki Fujita;Hiroshi Shintani and Hujime Tnunaka;Ken Kashiwagi;Ken Kashiwagi;柏木 謙;柏木 謙;柏木 謙
