酸化物超伝導薄膜のダメージレスナノ加工プロセスの検討
酸化物超伝導薄膜のダメージレスナノ加工プロセスの検討
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氧化物超导薄膜无损伤纳米加工工艺研究
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本津茂樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋晋也;馬場康仁;楠正暢;西川博昭;本津茂樹
