プリアモルファス化Si中のフッ素のホウ素拡散抑制
プリアモルファス化Si中のフッ素のホウ素拡散抑制
复制标题
氟在预非晶化硅中硼扩散的抑制
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤 公平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木我 亮太郎，植松 真司;伊藤 公平
