On the controlling mechanism of microstructures in polycrystalline Si thin film by Al-induced crystallization
On the controlling mechanism of microstructures in polycrystalline Si thin film by Al-induced crystallization
复制标题
铝诱导晶化对多晶硅薄膜微观结构的控制机制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Suemasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Usami;M.Jung;T.Suemasu
