UBMS法による窒化炭素膜の合成
UBMS法による窒化炭素膜の合成
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UBMS法合成氮化碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上山秀明,高井治,松井和則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Yamaguchi;N. Teshima;H. Miyahara;山口智哉，手嶋直人，宮原広郁;山口智哉，手嶋直人，宮原広郁;手嶋直人，淵上遥平，成田一人，宮原広郁;上山秀明,高井治,松井和則
