M. Shikida: "Micromachined S-shaped Actuator" Proc. of IEEE 6th Int. Symp. on Micromachine and Human Science. 167-172 (1995)
M. Shikida: "Micromachined S-shaped Actuator" Proc. of IEEE 6th Int. Symp. on Micromachine and Human Science. 167-172 (1995)
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M. Shikida：“微机械S形执行器”Proc。
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