ヌル磁場放電プラズマにおける新しいスパッタ装置の開発
ヌル磁場放電プラズマにおける新しいスパッタ装置の開発
复制标题
新型零磁场放电等离子体溅射设备的研制
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大坪 昌久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
敦田 悟;J.H.Yang;川尻 晋平;成 烈文;本田 親久;大坪 昌久
