SiN膜により導入された歪の熱処理特性の評価
SiN膜により導入された歪の熱処理特性の評価
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SiN薄膜引入应变的热处理特性评价
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
斉藤 博之、小椋 厚志;他
