希ガス混合Si薄膜における酸素の低減化
希ガス混合Si薄膜における酸素の低減化
复制标题
稀有气体混合硅薄膜中的氧还原
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
奥村竜二，羽渕仁恵，飯田民夫，大橋史隆，伴 隆幸，久米徹二，野々村修一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kazunari Shinbo;Hiroshi Ishikawa;Akira Baba;Yasuo Ohdaira;Keizo Kato;and Futao Kaneko;奥村竜二，羽渕仁恵，飯田民夫，大橋史隆，伴 隆幸，久米徹二，野々村修一
