SiC表面における酸化初期での反応過程に関する理論的検討
SiC表面における酸化初期での反応過程に関する理論的検討
复制标题
SiC表面氧化初期反应过程的理论研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白石 賢二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤綾子;秋山亨;中村浩次;伊藤智徳;影島博之;植松真司;白石 賢二
