Toshihiro ITOH, et al: "Characterisiics of Low Force Contact Process for MEMS Probe Cards"Digest of Technical Papers - The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'01), Munich (June). 1422-1425 (2001)
Toshihiro ITOH, et al: "Characterisiics of Low Force Contact Process for MEMS Probe Cards"Digest of Technical Papers - The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'01), Munich (June). 1422-1425 (2001)
复制标题
Toshihiro ITOH 等人：“MEMS 探针卡低力接触工艺的特征”技术论文摘要 - 第 11 届固态传感器和执行器国际会议 (Transducers01)，慕尼黑（6 月）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
