熱干渉抑制用貫通溝を用いた異温度均一並列マイクロチャンバの開発
熱干渉抑制用貫通溝を用いた異温度均一並列マイクロチャンバの開発
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利用通槽开发具有不同温度和均匀性的平行微室以抑制热干扰
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石田 忠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木 聡;石田 忠
