Glow-Discharge Optical Emission Spectroscopy for Plasma-Surface Interaction Studies
Glow-Discharge Optical Emission Spectroscopy for Plasma-Surface Interaction Studies
复制标题
用于等离子体-表面相互作用研究的辉光放电发射光谱
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Nakamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Hatano;N. Yoshida;N. Futagami;H. Harada;T. Tokunaga;H. Nakamura
