レジスト材料に対する各種イオンビーム照射効果に関する研究
レジスト材料に対する各種イオンビーム照射効果に関する研究
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各种离子束辐照对抗蚀剂材料影响的研究
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tomoko Gowa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Abe;et al.;Tomoko Gowa Oyama;渡辺寛子;Tomoko Gowa Oyama;渡辺寛子;Tomoko Gowa Oyama;Tomoko Gowa Oyama;渡辺寛子;渡辺寛子;Tomoko Gowa Oyama;Tomoko Gowa
