スパッタリング法によるGe添加ZnO薄膜の作製

スパッタリング法によるGe添加ZnO薄膜の作製
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溅射法制备Ge掺杂ZnO薄膜

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
阿部世嗣
阿部世嗣
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
荒木 航;田邉 匡生;阿部 世嗣;小山 裕;阿部世嗣;Seishi Abe;Seishi Abe;Seishi Abe;阿部世嗣

文献摘要

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