Distribution Control of Microwave Plasma by Using a Slot Antenna with Variable Radiation Field Profile
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利用可变辐射场剖面缝隙天线对微波等离子体进行分布控制
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Takeno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Kobayashi;Y. Yasaka;H. Takeno
