ブロック共重合体リソグラフィーを指向したPOSS含有トリブロック共重合体のナノ構造制御

ブロック共重合体リソグラフィーを指向したPOSS含有トリブロック共重合体のナノ構造制御
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含 POSS 三嵌段共聚物的纳米结构控制对嵌段共聚物光刻

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
早川晃鏡
早川晃鏡
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
加藤史修;前田利菜;早川晃鏡

文献摘要

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