長時間測定システムを用いた小孔付き半密閉空間を有する微気圧センサの周波数特性の評価
長時間測定システムを用いた小孔付き半密閉空間を有する微気圧センサの周波数特性の評価
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使用长期测量系统评估带有小孔的半封闭空间微压传感器的频率特性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大河正志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野中靖宏;大河正志
