Experimental study on atmospheric pressure RF capacitive He/O_2 and He/CF_4/O

大气压射频电容He/O_2和He/CF_4/O_2放电实验研究

DOI：

发表时间：

2006

期刊：

Proceedings of 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas / 23rd Symposium on Plasma Processing 23

影响因子：

通讯作者：

中科院分区：

文献类型：

作者：

T.Hanai;T.Kimura