大気中熱処理によるa面サファイア基板の表面性状の変化と表面窒化に及ぼす影響
大気中熱処理によるa面サファイア基板の表面性状の変化と表面窒化に及ぼす影響
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大气热处理导致A面蓝宝石衬底表面性能的变化及其对表面氮化的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関谷竜太,安達正芳,大塚誠,福山博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masayoshi Adachi;Mari Takasugi;Daisuke Morikawa;Kenji Tsuda;Akikazu Tanaka;Hiroyuki Fukuyama;安達正芳,福山博之,杉山正史,飯田潤二;福山博之,安達正芳;関谷竜太,安達正芳,大塚誠,福山博之;安達正芳，福山博之，杉山正史，飯田潤二;福山博之，安達正芳;関谷竜太，安達正芳，大塚誠，福山博之;安達正芳,杉山正史,飯田潤二,田中明和,福山博之;安達正芳,福山博之,杉山正史,飯田潤二,田中明和;関谷竜太,安達正芳,大塚誠,福山博之
