微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-
微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 -熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価-
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微空间热平衡光滑表面缺陷检测研究-热检测传感器探头的构造与基本特性评估-
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清水 裕樹，松野 優紀，陳 遠流，松隈 啓，高 偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryu Egashira;Toshihide Fujikawa;Hisao Yaguchi;Shigeo Fujikawa;清水 裕樹，松野 優紀，陳 遠流，松隈 啓，高 偉
