ヘリウムイオン顕微鏡を用いたタングステンピラーの作製および基板に与えるダメージの評価
ヘリウムイオン顕微鏡を用いたタングステンピラーの作製および基板に与えるダメージの評価
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使用氦离子显微镜制造钨柱并评估基材损伤
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小濱 和之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
戸高 寛;樋口 琢磨;矢生 健一;森澤 啓子;山口 史佳;池 恩變;福島 敦樹;津田 雅之;杉山 康憲;坂本 修士;坂本 修士;Kazuyuki Kohama;樋口 琢磨;Kazuyuki Kohama;戸高 寛;小濱 和之
