Synthesis of SiC/hBN Nano-laminated Coating Films by Atomic Layer Deposition and its Anti-adhesive Properties for Titanium
Synthesis of SiC/hBN Nano-laminated Coating Films by Atomic Layer Deposition and its Anti-adhesive Properties for Titanium
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原子层沉积法合成SiC/hBN纳米层压涂膜及其对钛的抗粘着性能
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ming Yang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ken Ishimaru,Jin Yong;Shigeo Yasuhara;Tetsuhide Shimizu;Ming Yang
