Effect of Different Surface Treatments on the Outgassing Characteristics of Titanium
Effect of Different Surface Treatments on the Outgassing Characteristics of Titanium
复制标题
不同表面处理对钛除气特性的影响
DOI：
10.3131/jvsj.40.248
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Minato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Itoh;M. Minato
我々は超高真空お よび極高真空容器用 の材料 と して チ タンを研究 してきた.こ れ までの 研究で,チ タン定加熱 排気中の水素の 放 出が ステン レス鋼 よ りも少 ないことが わか った1).そ してTiNを 内壁 般イオ ンプ レーテ ィング した 内容積2Lの チ タ ン製真空容器 で6×10-11Paの 極 高真空を達成す る ことが できた2). 次に これ よ り内容積 の大 きい実用的な真空容器(例 え ば成膜 用真空 容器な ど)と して,内 容積55Lの チ タ ソ 製真空容器を製作 した。実用的には この程度の容器 を短 時間で超高真空領域 に達成 させ ることが望 まれる.先 各 小真空容器ではガス放 出を低減す るための 表面処理 とし て容器 内面 に均一 にTiNを 被覆 したが,こ の容器 の大 きさでは コーテ ィング装置の 制約 よ り,そ れは容易で定 ない.そ こで本研究では,こ の容器に応用で きるガス放 出の少 ない表面処理 を見いだすため,板 状のチ タン試料 を用い,表 面処理を変 えた ときのガス放出速度を測定 し 比較 した.そ してその 結果 よ り,ガ ス放出速度の低い表 面処 理を実 際に 内容 積55Lの チタ ン製真空 容器 内面 に 施 し,良 好 な排気特性を得る ことが できた 。