S.Takami: "Monolayer-Nitridation of Silicon Sarface by a dry Chemical Process using Dimethylhydradine or Ammonia." Appl. Phys. Lett.66. 1527-1529 (1995)
S.Takami: "Monolayer-Nitridation of Silicon Sarface by a dry Chemical Process using Dimethylhydradine or Ammonia." Appl. Phys. Lett.66. 1527-1529 (1995)
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S.Takami：“使用二甲肼或氨通过干化学工艺对硅表面进行单层氮化。”
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