金原 粲: "Effects of Different Pretreatments on the Surface Structure of Silicon and the Abhesion of Metal Films" J.Vac.Sci.Technol.A. 10. 3166-3170 (1992)
金原 粲: "Effects of Different Pretreatments on the Surface Structure of Silicon and the Abhesion of Metal Films" J.Vac.Sci.Technol.A. 10. 3166-3170 (1992)
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Kanehara, K.:“不同预处理对硅表面结构和金属膜附着力的影响”J.Vac.Sci.Technol.A. 10. 3166-3170 (1992)
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