Y.Tsuchiya, M.Endo, M.Kurosawa, R.T.Tung T.Hattori, S.Oda: "Atomic Layer-by-layer MOCVD of high-k dielectric thin films with in-situ monitoring by spectroscopic ellipsometry"Extended Abstracts of the 2002 International Conference on Solid State Devices an
Y.Tsuchiya, M.Endo, M.Kurosawa, R.T.Tung T.Hattori, S.Oda: "Atomic Layer-by-layer MOCVD of high-k dielectric thin films with in-situ monitoring by spectroscopic ellipsometry"Extended Abstracts of the 2002 International Conference on Solid State Devices an
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Y.Tsuchiya、M.Endo、M.Kurosawa、R.T.Tung T.Hattori、S.Oda：“通过光谱椭圆光度法进行原位监测的高 k 介电薄膜的原子层接层 MOCVD”扩展摘要
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