High-Density-Medium Plasma-Supercritical Fluid Plasma and Cryo Plasma-its physics and application to material processing-GEC
High-Density-Medium Plasma-Supercritical Fluid Plasma and Cryo Plasma-its physics and application to material processing-GEC
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高密度中等离子体-超临界流体等离子体和低温等离子体-其物理特性及其在材料加工中的应用-GEC
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Stauss
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Terashima;S. Stauss
