Y. Uchida: "Optimization of Low-k Porous Silica Films Incorporated with Alkylene Groups."Europe Mat. Res. Conf.. (2002)
Y. Uchida: "Optimization of Low-k Porous Silica Films Incorporated with Alkylene Groups."Europe Mat. Res. Conf.. (2002)
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Y. Uchida：“掺有亚烷基的低 k 多孔二氧化硅薄膜的优化。”Europe Mat。
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