H.Kawasaki,Y.Matsuda and H.Fujiyama: "Two-dimensional Profile of Emissive Species in a SiH_4/Ar Glow Discharge" Proc.of 7th Plasma Processing. 137-140 (1990)
H.Kawasaki,Y.Matsuda and H.Fujiyama: "Two-dimensional Profile of Emissive Species in a SiH_4/Ar Glow Discharge" Proc.of 7th Plasma Processing. 137-140 (1990)
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H.Kawasaki、Y.Matsuda 和 H.Fujiyama：“SiH_4/Ar 辉光放电中发射物质的二维轮廓”第七次等离子体处理过程。
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