刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响
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DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
尤思尧
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王明海;王福宁;王奔;刘琪;尤思尧
