原子層堆積法による原子ミラー作製技術の開発
原子層堆積法による原子ミラー作製技術の開発
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原子层沉积法原子镜制造技术的发展
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林中
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤元俊彦;塩見康友;熊谷寛;小林中
