篠原 正典，佐々本 凌
篠原 正典，佐々本 凌
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筱原正德、笹本亮
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積に対する ベンゼン供給位置の影響
中科院分区：
文献类型：
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作者：
作道章一;三沢達也;アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積に対する ベンゼン供給位置の影響
