スパッタリング法によるSi,Snを用いたGa2O3へのn型ドーピング
スパッタリング法によるSi,Snを用いたGa2O3へのn型ドーピング
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溅射法用 Si 和 Sn 对 Ga2O3 进行 N 型掺杂
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
牧本 俊樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤田実樹 ; 井上 洋輔 ; 長澤 凜太郎 ; 構 祐美子 ; 牧本 俊樹
